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产品分类
产品简介
技术指标
●适用晶片尺寸 : 2~8英寸圆片
●工作温度: 600℃~1300℃;
●可配工艺管数量:1~2管/台
●恒温区长度及精度:≤±0.5℃/300~600mm (800℃~1300℃),
● 单点温度稳定性:≤±0.5℃℃ /24h (1100℃);
●温度斜变能力:**升温速率20℃/min,**降温速率5℃/min;
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