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扩散氧化炉(科研型)
扩散氧化炉(科研型)的图片
参考报价:
面议
品牌:
艾科威
关注度:
684
样本:
暂无
型号:
扩散氧化炉(科研型)
产地:
湖南
信息完整度:
典型用户:
暂无
非金属电热元件:
其他
金属电热元件:
其他
烧结气氛:
氧气
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高级会员 第 2
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认 证:工商信息已核实
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产品简介



技术指标

●适用晶片尺寸 :  2~8英寸圆片

●工作温度: 600℃~1300℃; 

●可配工艺管数量:1~2管/台

●恒温区长度及精度:≤±0.5℃/300~600mm (800℃~1300℃),

● 单点温度稳定性:≤±0.5℃℃ /24h (1100℃); 

●温度斜变能力:**升温速率20℃/min,**降温速率5℃/min; 

扩散氧化炉(科研型)

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